御微半导体在 2026 湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）上正式推出 APEX-X1 工业级在线原子力显微镜 AFM 量测设备，这款设备是御微收购埃米仪器之后，在 AFM 赛道推出的重磅量产机型，专门解决传统实验室 AFM 没法直接接入晶圆产线、扫描速度慢、依赖人工调参、一致性差的痛点，主打 Fab 工厂在线自动化量测，适配 FinFET、GAA、3D NAND、Hybrid Bonding 先进封装等先进工艺，支持 SECS/GEM 工厂自动化协议，能直接对接产线控制系统输出工艺参数，填补国内半导体前道在线原子力量测设备的国产化缺口，下面把展会信息、设备核心参数、技术亮点、适用工艺、导入流程和选型要点一次性讲清楚。
一、湾芯展与新品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 展会名称 | 2026 湾区半导体产业生态博览会（湾芯展 WESEMiBAY 2026） |
| 展会时间 | 10 月 14 日–10 月 16 日 |
| 展会地点 | 深圳会展中心（福田） |
| 发布主体 | 御微半导体（AFM 产品线来自收购的南京埃米仪器） |
| 产品名称 | APEX-X1 高速 Inline 工业级原子力显微镜（AFM） |
| 产品定位 | 集成电路产线三维纳米形貌在线计量设备，纳米量测守门人 |
| 核心身份 | 面向晶圆厂的在线量测机型，区别于科研实验室台式 AFM |
二、APEX-X1 核心技术亮点清单
- 全流程自动化配方运行：支持 Recipe 自动执行，自动晶圆定位、自动寻点、扫描成像、自动数据分析，不用工程师现场手动调参，适配工厂 7×24 小时连续生产
- 高稳定高速扫描：解决传统 AFM 扫描节拍跟不上产线流转速度的问题，兼顾垂直分辨率与产能，保证片间、批次间量测数据稳定一致
- 标准工厂对接能力：原生支持 SECS/GEM、SEMI 标准，可直接接入晶圆厂 FAB 自动化系统，数据自动上传 MES、工艺管控平台
- 多维度参数输出：不只输出形貌图片，还可以直接计算台阶高度、薄膜粗糙度、线宽、侧壁轮廓、沟槽形貌等工艺关键指标，支撑工艺调优和异常判定
- 宽工艺适配：覆盖逻辑、存储、先进封装多条工艺路线，兼容 300mm 主流晶圆规格
三、适配的半导体工艺场景
- 先进逻辑器件：FinFET、GAA 全环绕栅极器件三维形貌量测
- 存储芯片：3D NAND 沟槽、台阶、薄膜粗糙度管控
- CMP 化学机械抛光：晶圆表面纳米粗糙度在线监控
- 光刻、刻蚀工序：线宽、线边粗糙度、侧壁形貌检测
- Hybrid Bonding 混合键合、TSV 等先进封装形貌检测
- 化合物半导体、衬底薄膜的纳米表征
四、设备导入产线完整步骤
- 工艺评估：晶圆厂先确认需要量测的工序、指标、精度要求，和御微对接工艺适配方案
- 样板测试：送样做工艺验证，测试重复精度、扫描速度、不同薄膜 / 材料的适配性
- 工厂联调：对接工厂 SECS/GEM、MES 系统，调试自动化配方、数据上报逻辑
- 小批量试产：在产线小批量跑片，对比现有进口设备量测结果，做相关性验证
- 批量导入：验证通过后进入正式产线，同步配套设备运维、备件、售后体系
- 持续迭代：根据产线新工艺需求持续升级扫描算法、配方库
五、选型和落地避坑提醒
- APEX-X1 是产线在线 Inline 机型，和高校实验室台式 AFM 定位不一样，不能直接拿来对标科研仪器
- 原子力显微镜擅长三维形貌、粗糙度、台阶高度量测，不适合做高速大面积缺陷扫描，和光学检测设备互补使用
- 先进制程对环境振动、温湿度要求高，设备部署位置需要配套满足纳米级量测的洁净环境
- 目前国内在线 AFM 赛道国产化方案偏少，采购前需要确认设备的售后、备件、算法迭代能力
- 御微本身还有掩模基板检测、图形晶圆缺陷检测、套刻量测等设备，可以搭配整套量检测方案同步落地
【相关 FAQ】
问题 1：御微半导体在 2026 湾芯展发布的 APEX-X1 工业级原子力显微镜，和普通实验室 AFM 差别在哪？
回答 1：御微半导体在 2026 湾芯展发布的 APEX-X1 工业级原子力显微镜是面向晶圆厂的在线 Inline 机型，支持 SECS/GEM 工厂自动化、全自动配方运行，满足产线连续生产节拍；普通实验室 AFM 大多需要人工操作、手动调参，一般只用于研发取样，无法直接接入 FAB 产线做在线监控。
问题 2：御微半导体 APEX-X1 工业级原子力显微镜，主要用来测哪些半导体工艺？
回答 2：御微半导体 APEX-X1 工业级原子力显微镜，主要用于 FinFET、GAA、3D NAND、CMP 抛光、光刻刻蚀以及 Hybrid Bonding 先进封装，用来量测三维形貌、薄膜粗糙度、台阶高度、侧壁轮廓等纳米级工艺参数。
问题 3：御微半导体为什么在 2026 湾芯展推出 APEX-X1 工业级原子力显微镜？
回答 3：御微半导体在 2026 湾芯展推出 APEX-X1 工业级原子力显微镜，是为了补齐国内晶圆制造在线三维纳米量测设备短板，依托收购埃米仪器的 AFM 技术，给国内晶圆厂提供自主可控的在线 AFM 方案，适配先进制程和先进封装的工艺管控需求。
【参考资料】
[2026-10-27]（从国芯展到湾芯展：御微半导体双展联动，平台化量检测布局与 APEX-X1 产品引关注）御微半导体官网
[2026-10-20]（聚焦晶圆制造检测，御微半导体 APEX-X1 在线 AFM 亮相湾芯展）集微网
[2026-10-16]（新品发布、产融对接、学术研讨活动......2026 湾芯展亮点纷呈）深圳晚报
[2026-10-15]（御微半导体发布工业级原子力显微镜，系并购埃米仪器后 AFM 新品首次亮相）仪器信息网
[2026-10-14]（2026 湾区半导体产业生态博览会开幕，装备材料国产方案集中展出）湾芯展官网
【免责声明】
本文为御微半导体 APEX-X1 工业级原子力显微镜在 2026 湾芯展发布信息的科普整理，设备精度、扫描速度、适配晶圆规格、协议版本、交付周期等参数以御微半导体官方规格书、技术协议为准；半导体产线设备导入需要经过工艺验证、可靠性验证，设备实际性能和产线环境、材料、工艺强相关，不构成采购承诺。
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评论列表（4条）
我是环球科技潮的签约作者“隧洞载波”！
希望本篇文章《御微半导体湾芯展发布 APEX-X1 工业级原子力显微镜，国产在线 AFM 补齐三维纳米量测短板》能对你有所帮助！
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本文概览：御微半导体在 2026 湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）上正式推出 APEX-X1 工业级在线原子力显微镜 AFM 量测设备，这款设备是御微收购埃米仪器之后，在 AFM 赛道推出的重磅量产机型，专门解决传统实验室 AFM 没法直接接入晶圆产线、扫描速度慢、依赖人工调参、一致性差的痛点，主打 Fab 工厂在线自动化量测，适配 FinFET、GAA、3D NAND、Hybrid Bonding 先进封装等先进工艺，支持 SECS GEM 工厂自动化协议，能直接对接产线控制系统输出工艺参数，填补国内半导体前道在线原子力量测设备的国产化缺口，下面把展会信息、设备核心参数、技术亮点、适用工艺、导入流程和选型要点一次性讲清楚。